
KLA-Tencor 推出针对集成电路的先进检测和检查系统
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简介:
KLA-Tencor最新推出了专门用于集成电路的高端检测与检查系统,旨在提高半导体制造过程中的产品质量和生产效率。
这四款新系统——2920系列、Puma 9850、Surfscan SP5 和 eDR-7110——为研发与生产16nm及以下的集成电路提供了更先进的缺陷检测与检查能力。其中,2920 系列宽波等离子图案晶圆缺陷检测系统、Puma 9850 激光扫描图案晶圆缺陷检测系统和 Surfscan SP5 无图案晶圆缺陷检测系统能够提供更高的灵敏度以及显著的产能提升。这些设备帮助芯片制造商识别并监测影响成品率的关键性缺陷,从而支持他们在最前沿的设计节点整合复杂的结构、新材料及新工艺。
KLA-Tencor 晶圆检测集团执行副总裁 Bobby Bell 表示:“当我们的客户在研发和制造过程中面临挑战时,我们提供的先进解决方案能够确保他们顺利地推进技术发展。”
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