
40kHz正弦波高压等离子体电源文档.pdf
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简介:
本PDF文档详细介绍了设计和构建用于产生40kHz频率正弦波输出的高压等离子体电源的过程与技术细节。适合从事等离子体物理研究的技术人员参考。
本段落介绍了一种用于工业设备的40kHz正弦波高压等离子体电源的设计方案。文章详细描述了主电路及功率稳定电路的设计过程。该电源的主电路包括由功率场效应晶体管构成的H桥式电路、串并联混合谐振电路以及变压器阻抗变换电路。经过测试,研制出的等离子体放电电源在太阳能电池生产线上的等离子体增强化学气相沉积设备中得到了应用,并且其工作稳定可靠。
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