
基于卷积神经网络的晶圆缺陷检测与分类
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简介:
本研究利用卷积神经网络技术,开发了一种高效的晶圆缺陷自动检测与分类系统,旨在提升半导体制造过程中的质量控制效率和准确性。
针对晶圆检验过程中扫描电镜图像的缺陷检测与分类问题,采用了“ZFNet”卷积神经网络进行晶圆缺陷分类,并基于此构建了一种“基于块的卷积神经网络”的缺陷检测算法。为了提高准确率及加快处理速度,还对“更快的区域卷积神经网络”进行了改进,提出了一种新的检测方法。
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