
互连材料在集成电路中的应用与发展
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简介:
本文探讨了互连材料在集成电路领域的重要作用及其最新发展趋势,分析了技术挑战与解决方案。
随着集成电路(Integrated Circuits)的迅速发展,对互连线材料的要求也越来越高。如今,互连问题已经成为研究的重点领域之一,尤其是在电路特征尺寸越来越小的情况下。这时,互连线的各种效应开始显著影响整个电路的表现。
本段落探讨了从传统的金属铝及其合金到现在主流使用的铜以及新兴碳纳米管作为互连线的优缺点,并介绍了新型光互连技术的发展情况。
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