第1章半导体工艺及器件仿真工具SentaurusTCAD.ppt

简介：
半导体制造工艺及仿真模拟软件Sentaurus TCADSentaurus TCAD 是一个功能强大且全面的半导体工艺及器件仿真工具，它集成了 Tsuprem4、Medici 和ISE-TCAD 等优秀模块的特点和优势。该仿真工具可用于分析集成器件的制造工艺、物性参数以及互联特征等方面的内容。Sentaurus TCAD包含了多种功能性的软件工具包，并涵盖如Sentaurus Workbench、Ligament、Sentaurus Process等多款专业软件工具。这些组件包括但不仅限于Sentaurus Structure Editor、Mesh Noffset3D、Sentaurus Device以及Tecplot SV等，为用户提供全面的建模和分析解决方案。Sentaurus Process represents a cutting-edge simulation tool for nanoscale integrated circuit process technology, which unifies one-dimensional, two-dimensional, and three-dimensional simulations into a single unified platform. It is tailored for advanced nanoscale integrated circuit fabrication processes and provides comprehensive support for the simulation and modeling of submicron effects.Sentaurus Process基于传统工艺仿真软件运行模式的基础上，开发了包括一维分析结果展示软件Inspect、二维和三维模拟结果可视化系统（基于Tecplot SV）以及小尺寸模型测试等在内的多项改进。Sentaurus Device具有全方位的应用能力，可涵盖的仿真器件类型极富覆盖面，包括了CMOS、功率器件、存储器、图像传感器以及太阳能电池等。Sentaurus TCAD支持了网络建模功能，并提供了关键参数提取模块，实现对芯片性能的优化。为了启动Sentaurus TCAD环境，必须先开启vncviewer，并在xterm中键入source optdemosentaurus.env以便启动Sentaurus TCAD环境。Sentaurus TCAD的使用可划分为若干步骤：首先需启动Sentaurus Process，在执行过程中，可调用一系列指令来控制Sentaurus Process的行为。这些指令包括退出（exit）、终止 abrupt break（fbreak）、继续 continue（fcontinue）、执行任务 executable（fexec）、建立 interface（interface）、加载 load、记录日志 logfile、材料 mater以及设置目标 goals等。当使用Sentaurus Process进行操作时，学习掌握各类指令的操作手法与配置参数设置是必要且重要的前提条件。通过这种方式可以更有效地运用此软件对集成器件的工艺流程以及物性特征进行仿真分析。Sentaurus TCAD是一种能够对半导体工艺和器件进行仿真的专业软件，具有强大的功能组合。其在相关领域的应用前景广阔且具有巨大的发展潜力。