基于ZEMAX的Fizeau干涉仪建模

简介：
本研究利用Zemax软件构建了Fizeau型干涉仪的光学模型，并进行了详细的仿真分析。通过优化设计参数，提高了仪器测量精度和稳定性。 Fizeau干涉仪因其参考光与测试光共用同一路径的优点而被广泛采用在多种干涉仪结构设计中，并且这些仪器的理论研究已经非常全面。然而，在实际操作过程中，如何对这种类型的干涉仪进行仿真模拟成为了关键问题之一。本段落首先简要介绍了Fizeau干涉仪的工作原理以及相位解包裹的基本概念，并使用Matlab编写了基于矩形区域的解包裹程序。接着，我们利用Zemax光学设计软件构建了一个适用于各种情况下的Fizeau干涉仪通用模型，并通过四步相移法对仪器进行面形检测仿真测试，同时应用之前编写的解包裹算法来计算待测表面的具体形状信息。最终得到的结果与实际情况相符，证明了该通用模型能够较好地模拟实际环境中干涉仪的性能表现。