
利用飞秒激光微加工技术在硅片上制作大面积凹面微透镜阵列
5星
- 浏览量: 0
- 大小:None
- 文件类型:None
简介:
本研究采用飞秒激光微加工技术,在硅片表面成功制备了大面积凹面微透镜阵列,为高性能光学器件开发提供了新的材料与工艺方案。
飞秒激光微加工技术可用于在硅材料上制备大面积的凹面微透镜阵列。
全部评论 (0)
还没有任何评论哟~


简介:
本研究采用飞秒激光微加工技术,在硅片表面成功制备了大面积凹面微透镜阵列,为高性能光学器件开发提供了新的材料与工艺方案。
飞秒激光微加工技术可用于在硅材料上制备大面积的凹面微透镜阵列。


