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EUV相机光机系统设计的目标与实现

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简介：
本文探讨了EUV相机光机系统的设计目标，并详细介绍了其实现过程及关键技术，旨在推动极紫外成像技术的发展。 EUV相机光机结构设计的目标包括： 确保足够的强度以防止在承受规定载荷的情况下发生破坏并保持稳定性； 具备充足的刚度，避免出现不允许的动力学弹性现象及共振问题； 拥有足够长的寿命，在整个生命周期内无论处于何种环境条件下都能够正常运行； 具有良好的热尺寸稳定性，使机构能够在规定的温度范围内稳定工作，并维持稳定的尺寸和精度； 保证质量与惯量分布良好，以达到最佳动态刚度特性，从而减少相机在力学环境下产生的动态响应以及外载荷对相机精度及稳定性的负面影响。

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  • EUV相机光机系统设计的目标与实现
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    本文探讨了EUV相机光机系统的设计目标，并详细介绍了其实现过程及关键技术，旨在推动极紫外成像技术的发展。 EUV相机光机结构设计的目标包括： 确保足够的强度以防止在承受规定载荷的情况下发生破坏并保持稳定性； 具备充足的刚度，避免出现不允许的动力学弹性现象及共振问题； 拥有足够长的寿命，在整个生命周期内无论处于何种环境条件下都能够正常运行； 具有良好的热尺寸稳定性，使机构能够在规定的温度范围内稳定工作，并维持稳定的尺寸和精度； 保证质量与惯量分布良好，以达到最佳动态刚度特性，从而减少相机在力学环境下产生的动态响应以及外载荷对相机精度及稳定性的负面影响。
     
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    本项目聚焦于光端机的设计与实施，旨在探讨其实用性及技术细节。通过理论分析和实验验证相结合的方法，优化了设备性能，提升了通信质量。 本段落提出了一种简易实用的光端机设计方法，能够实现TTL/E1、RS232、RS422三种信号通过光纤传输，并成功应用于中短距离点对点通信。其中，TTL/E1信号直接输入通道选择模块；而RS232和RS422信号经过相应的调理电路转换为TTL电平后再进行传输。通道选择由可编程逻辑器件GAL16V8为核心实现，通过按键操作可以切换不同的传输模式，并有指示灯显示当前的工作状态。系统采用安捷伦公司的LED组件HFBR-1528和HFBR-2528作为光发送与接收模块的核心部件来完成光纤通信功能。实验结果表明该设计方案具有良好的可靠性和性能表现。
     
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