
关于超精密点对点运动的三阶轨迹规划算法的研究(2008年)
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简介:
本研究聚焦于开发一种针对超精密机械系统的三阶轨迹规划算法,旨在优化点对点移动过程中的性能和精度。通过理论分析与实验验证相结合的方法,探索了不同参数设置下运动控制的最优解,为实现高速、高精定位提供了新路径。
本段落研究了一种优化的超精密点对点运动3阶轨迹规划算法及其精度补偿方法。首先阐述了实现可实用性的超精密轨迹规划所必需具备的特点以及时间优化的基本要求。然后,基于系统动力学限制,并考虑整个运动过程,提出一种通过预处理以获得时间最优解的直接三阶轨迹规划算法。此外,还提出了一种适当放宽系统动力学约束的时间圆整方法,有效补偿了计算机离散实现时产生的精度损失。实例证明了该算法的有效性和可靠性,并成功应用于纳米级半导体加工设备的研发中。
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