提升小波变换轮廓术测量准确性的方法

简介：
本研究提出了一种改进的小波变换轮廓术技术，通过优化算法提高表面形貌测量精度和分辨率，适用于微纳结构分析。 小波在空域和频域上均具有良好的局域化性能，适合于非平稳信号分析。传统的小波变换轮廓术通过对基小波进行尺度伸缩来匹配局部条纹，并获取对应的相位信息。然而，在局部位置仅对Morlet小波进行尺度调整并不能最佳地提取出局部的相位信息。 本段落详细研究了振荡波形随高斯窗宽变化时复Morlet小波在条纹分析中的特点，提出了一种改进的小波处理方法，并将该方法与基于代价函数的传统小波方法进行了比较。结果表明：所提出的优化方法能够更有效地提取脊线信息；相比传统的方法，在噪声抑制和测量精度方面表现出色。 通过计算机模拟以及实验验证了新方法的有效性。