MEMS Pro MEMS_Pro教程.pdf

简介：
《MEMS Pro教程》是一份详尽的手册，为用户提供了关于MEMS（微机电系统）设计和分析的专业软件——MEMS Pro的操作指南和技术支持。该手册涵盖了从基础操作到高级功能的全面介绍，旨在帮助工程师、研究人员及学生快速掌握使用MEMS Pro进行复杂建模的能力。 ### MEMS Pro与L-Edit版图设计教程详解 #### 一、MEMS Pro与L-Edit概述 **MEMS Pro**是一款先进的微机电系统(MEMS)设计软件，由美国Tanner公司开发，广泛应用于MEMS器件的设计与仿真。本教程主要介绍了如何使用**L-Edit**这款版图设计工具来进行MEMS器件的版图设计。 **L-Edit**不仅适用于传统集成电路的设计，同时也支持MEMS版图设计。该软件具备强大的设计、模拟验证、版图编辑及自动布局布线等功能，且操作简便，非常适合个人或小型团队使用。 #### 二、版图设计基本概念 版图设计是指将电子器件或系统的物理布局进行详细规划的过程。这一过程需要遵循一系列约束条件，包括但不限于制造工艺的要求、设计流程的规定以及通过仿真验证的性能指标。版图设计的目标是确保最终产品能够满足设计目标，并能在实际生产中得以实现。 #### 三、L-Edit版图设计流程 1. **准备工作**: 在正式设计之前，需明确所采用的工艺类型及其具体参数，如是否能使用正、负光刻胶，是否支持干法刻蚀或湿法腐蚀等。 2. **软件操作**: - 打开L-Edit软件后，默认会生成一个名为“Layout1.tdb”的工作文件。 - 通过“Save As”命令保存并命名文件。 - 使用“Replace Setup”命令进行设计规则的设置。 - 在“Setup/Design”中进行环境设置，如单位、网格等参数配置。 - 选择左侧图层面板中的目标图层开始绘制。 3. **高级功能**: - **数据转换与3D模型**: L-Edit支持将2D版图转换为3D模型，便于更直观地理解和分析。 - **编辑工具**: 提供多种编辑工具，如“Editing Toolbar”中的“Editing Object”按钮可以调整图形的大小和位置等属性。 - **图形组合**: 可以通过“Group”功能创建Cell（即组合区域），方便重复使用或单独修改这些单元。 - **布尔运算**: 支持对不同图层进行减法与合并操作，提高设计灵活性。 #### 四、实例演示 - 微热驱动器、微梳齿谐振器、微马达和微陀螺仪等典型MEMS器件的版图设计示例。 - 包括MEMS二维旋转镜及SDA驱动器在内的特殊应用场景下的版图设计案例。 #### 五、注意事项 - 在绘制尺寸非常小（如小于1μm）的圆形或圆环时，可能会遇到形状失真的问题。这是因为这些结构通常是通过多边形近似形成的，当尺寸过小时这种近似的精度会显著下降。 - 导出为特定格式（例如CIF）文件时需谨慎操作，某些复杂结构可能无法完全保持原有的几何形态。 - 使用**MEMSPro Toolbar**中的工具可以绘制复杂的图形，如扇形梳状结构、正余弦曲线等。 #### 六、总结 通过学习和实践L-Edit软件的使用方法，我们可以有效地进行MEMS器件的版图设计。无论是对于微电子专业的学生还是从事微细加工领域的工程师来说，掌握这项技能都是非常重要的。随着技术的进步和需求的增长，MEMS器件的应用范围不断扩大，因此对高效且精确的设计工具的需求也日益增加。**L-Edit**正是这样一款能够满足这些需求的强大工具。