SECS-II.pdf
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简介：
《SECS-II》是一份详细阐述半导体设备通信标准(SEMI E6)的文档，为半导体制造设备之间的数据交换提供了规范。
SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content
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简介：
《SECS-II》是一份详细阐述半导体设备通信标准(SEMI E6)的文档，为半导体制造设备之间的数据交换提供了规范。
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