硅压阻式压力传感器的温度补偿算法及其软件实现

简介：
本研究探讨了硅压阻式压力传感器在不同温度条件下的性能变化，并提出了一种有效的温度补偿算法。通过软件实现该算法，显著提高了传感器在宽温范围内的测量精度和稳定性。 硅压阻式压力传感器的零点温度漂移和灵敏度温度漂移是影响其性能的关键因素之一。有效补偿这些误差对于提升传感器的整体表现至关重要。通过建立高阶温度补偿模型来校正这类温差是一种行之有效的策略，且在此基础上提出了计算拟合系数的方法，并利用Matlab GUI软件实现温度补偿系数的自动计算，从而实现了传感器输出信号的动态温度修正，显著改善了其线性度。实验表明，在完成温度误差补偿后，该类压力传感器的最大非线性误差可控制在0.5% F.S.以内。 硅压阻式压力传感器利用半导体材料的压阻效应来测量压力值，由于具备体积小巧、灵敏度高及工艺成熟等优势而被广泛应用于各个行业。然而，在实际工程应用中，硅基材会受到温度变化的影响，导致其性能出现偏差。