
关于晶圆搬运机械手的运动学仿真分析
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简介:
本研究探讨了晶圆搬运机械手的运动学特性,通过建立数学模型并进行计算机仿真,旨在优化其操作精度与效率,确保半导体制造过程中的高可靠性。
对一种搬运机械手的结构及相关参数进行了设计,并介绍了该机械手的运动原理。运用代数法计算了机械手关节角与末端执行器坐标之间的关系,从而得到了机械手的运动学方程。
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简介:
本研究探讨了晶圆搬运机械手的运动学特性,通过建立数学模型并进行计算机仿真,旨在优化其操作精度与效率,确保半导体制造过程中的高可靠性。
对一种搬运机械手的结构及相关参数进行了设计,并介绍了该机械手的运动原理。运用代数法计算了机械手关节角与末端执行器坐标之间的关系,从而得到了机械手的运动学方程。


