
第三代半导体氮化镓行业报告。
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简介:
HVPE(氢化一氧化二氮)是制备高品质GaN的常用工艺。该方法中,首先在高温条件下,高纯度GaN与HCl反应生成GaCl蒸气,随后该蒸气在衬底外延面上与NH3反应,从而沉积出结晶性的GaN薄膜。这种工艺能够实现大面积的生长,并且生长速率极高(可达100µm/h),能够在外延衬底上生长数百微米厚的层。尽管如此,它仍然有效地减少了衬底与外延膜之间的热失配和晶格失配对外延材料性能的影响。生长完成后,通过研磨和腐蚀法去除衬底,即可获得高质量的单晶片。采用此工艺获得的晶体尺寸较大,并且位错密度得到了较为精细的控制。
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