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探针卡（Prober Card）简介及测试硬件介绍

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简介：
探针卡是一种用于半导体晶圆测试的关键部件，它在测试过程中负责与芯片上的焊盘进行接触，传递电信号。本文将详细介绍探针卡的工作原理及其配套测试硬件的构成和功能。 探针卡是晶圆测试过程中连接被测芯片与测试机的关键部件，在前期的开发阶段以及后期量产过程中的良率保证方面都至关重要。以下是几种常见的探针卡类型： 1. 刀片式（Blade Type）：适用于引脚数少于70个、低速及需要低温或高温极端环境下的电流检测和射频测试（频率超过3GHz）。刀片式的成本较低，生产周期短，仅需一天。这种类型的探针卡结构稳定且抗干扰性能好，特别适合用于RF测试。 2. 环氧树脂式：适用于引脚数少于1000个、大型面积的应用场合。

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  • 探针卡（Prober Card）简介及测试硬件介绍
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