
用于700nm氮化硅带状波导的紧凑型光栅耦合器
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简介:
本研究设计了一种用于700nm氮化硅带状波导的高效、紧凑型光栅耦合器,优化了近红外光通信系统的集成度和性能。
700纳米厚的绝缘体上氮化硅(SNOI)因其宽带且几乎零展平的色散特性,在非线性应用中被广泛应用。本段落提出了一种光栅耦合器,专门用于厚度为700 nm的SNOI上的条形波导TE模式。通过结合聚焦光栅结构和反锥度设计,占位面积可以减小至70.2μm×19.7μm。该装置实现了峰值耦合效率-3.7 dB及54 nm的1-dB带宽。此外,其制造工艺仅需增加一个额外的蚀刻步骤即可与CMOS兼容。
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