
SEMI E37 HSMS 标准英文版 PDF
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简介:
这本SEMI E37 HSMS标准的英文版PDF文档提供了半导体制造设备行业中的HSMS(High-Level SHIP Messaging Specification)通信协议规范,适用于希望了解和应用该标准的相关技术人员。
HSMS 是为需要更高通信速度的应用或当简单的点对点拓扑结构不足以满足需求时提供的一种替代方案。在这些以及其它 HSMS 特性不被要求的情况下,仍可以使用 SEMI E4 (SECS-I)。
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