利用二维傅里叶变换从单帧干涉图中提取相位的方法（2013年）

简介：
本文介绍了一种基于二维傅里叶变换技术，用于从单一干涉图像中高效准确地提取相位信息的新方法。该方法在2013年提出，为光学测量领域提供了新的解决方案。 在大口径光学元件的干涉测试过程中，由于测试装置和干涉腔体较大，气流扰动及环境振动会对移相测试过程产生影响。为此，采用了一种基于二维傅里叶变换的单帧干涉图处理方法，这种方法仅需对一幅空间载频干涉条纹图进行处理即可获得待测相位信息，并具有抗振性能的优点。文章详细分析了该方法的基本原理和算法流程，并在近红外大口径移相平面干涉仪中进行了应用实验，测试对象为600mm口径的光学平晶。实验结果显示：采用此方法得到的波面峰谷值(PV)为0.112λ，波面均方根值(RMS)为0.014λ；与移相算法所得结果相比，该方法所测得的波面峰谷值偏差不到(1/500)λ。