
半导体压敏电阻式进气压力传感器在传感技术中的识别与检测
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简介:
本文探讨了半导体压敏电阻式进气压力传感器的工作原理及其在传感技术中的应用,并分析了其识别与检测方法。
半导体压敏电阻式进气压力传感器是利用半导体的压敏效应制造而成的。其主要特点包括体积小、精度高、响应迅速且抗震性能良好,同时生产成本较低,因此被广泛采用。例如,在通用汽车公司、丰田汽车公司和克莱斯勒公司的车辆中以及国产桑塔纳2000GLi型轿车上都使用了这种传感器。
该传感器的结构如图所示,它由压力转换元件与放大转换元件输出信号的混合集成电路组成。其中的压力转换元件采用的是利用半导体电压效应制成的硅膜片,这一部件的一侧为真空室,另一侧则连接进气歧管以导入压力值。此硅膜片尺寸为边长3毫米的正方形结构,在其中间部分进行了特殊处理。
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