基于CAV424的电容式压力传感器在传感技术中的测量电路设计

简介：
本研究探讨了以CAV424为核心的电容式压力传感器的设计与实现，重点在于优化其测量电路，提高传感器精度和响应速度。 摘要：随着差动式硅电容传感器在各个行业的广泛应用，对差动电容信号的检测变得至关重要。本段落提出了一种基于CAV424电容检测芯片作为前置检测单元的设计方案，并实现了适用于电容压力传感器的测量电路。该电路具有良好的稳定性和抗干扰能力，通过非线性补偿后还表现出优异的线性特性。实验结果显示实际电路与理论分析高度一致。 0 引言 硅电容压力传感器是利用硅基材料并采用MEMS工艺制作的一种新型压力传感器，它凭借其卓越的稳定性、低非线性和高可靠性，在工业控制和测量领域得到了广泛应用。然而，差动式电容压力传感器产生的输出信号通常非常微弱，因此如何将这些细微的电容变化量检测出来，并转换成后续电路能够方便处理的形式成为了一个关键问题。