
Raith_GDSII:适用于Raith电子束光刻(EBL)与聚焦离子束(FIB)设备的MATLAB工具
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简介:
Raith_GDSII是一款基于MATLAB开发的工具,专为Raith系列电子束光刻(EBL)和聚焦离子束(FIB)系统设计,用于高效处理GDSII文件格式。
Raith_GDSII 是一个用于 Raith 电子束光刻(EBL)和聚焦离子束(FIB)工具的 MATLAB 工具。
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