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芯片测试涉及的若干术语及其说明。

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简介:
CP涉及从坏的Die中筛选,从而降低封装和测试过程中的成本,并能更准确地评估Wafer的良率。FT则专注于从坏的Chip中筛选,以检验封装后的良率。在常规Wafer工艺中,许多公司倾向于省略CP步骤,以进一步降低成本。CP主要针对整片Wafer上每个Die进行测试,而FT则侧重于对封装好的Chip进行测试。只有当CP测试通过后,才会进行封装,随后FT确保封装后的Chip也符合标准。WAT(Wafer Acceptance Test)是一种专门针对测试图形(test key)进行的测试,通过电参数来监控各阶段工艺的正常性和稳定性。CP是Wafer级别的芯片探针技术,贯穿整个Wafer工艺流程,包括背面研磨和背面金属化(如果需要),用于对一些基本器件参数的评估,例如vt(阈值电压)、Rdson(导通电阻)、BVdss(源漏击穿电压)、Igss(栅源漏电流)和Idss(漏源漏电流),通常使用的测试设备电压和功率相对较低。FT则是封装后的Chip级别的最终测试,主要集中在IC或Device芯片的应用方面,有时甚至包括待机状态下的测试。即使FP通过了测试,仍需进行process qual和product qualCP 测试。对于内存而言,CP还具有至关重要的作用:通过MRA计算出Chip级别的修复地址(Repair address),并通过Laser Repair将CP测试中标记为可修复的Die进行修补,从而有效提升了Yield和可靠性。简而言之, CP是对Wafer进行的测试, 旨在评估制造厂所采用工艺的水平;而FT是对Package进行的测试, 旨在评估封装厂所采用工艺的水平.

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    本文档详细介绍了芯片测试中常用的术语和概念,并提供了相应的定义与解释,有助于读者更好地理解芯片测试流程和技术要点。 芯片测试涉及多种术语: 1. **良率(Yield)**:指在一定时间内生产的合格芯片数量占总生产量的比例。 2. **故障覆盖率(Fault Coverage)**:衡量测试过程检测出的缺陷种类与总数之比,通常以百分比表示。理想情况下应接近或达到100%。 3. **测试向量(Test Vector)**:一组输入信号和期望输出结果组成的序列,用于验证芯片的功能是否符合设计规范。 4. **边界扫描技术(Boundary Scan Technology, BIST)**:通过在IC内部集成特定的数字电路来简化测试过程的技术。这些附加电路允许对芯片进行自动检测,并且可以检查互连线及其它难以直接访问的部分。 5. **老化测试(Aging Test)**:模拟长时间使用条件下可能出现的问题,以确保产品长期稳定性。 以上术语构成了理解与开展高效、准确的芯片测试工作的基础框架。
  • 关于相关释义文档.docx
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    该文档详细解释了与芯片测试相关的专业术语和概念,为读者提供了清晰的理解框架,适用于技术人员及初学者参考学习。 CP(晶圆测试)的主要作用是挑出坏的Die,并减少封装和测试的成本,同时可以更直接地了解Wafer(晶圆)的良率情况。FT(最终测试),则是在芯片进行封装之后对坏掉的chip进行筛选,以检验其封装后的性能。 在一般的wafer工艺流程中,许多公司选择省略CP步骤来降低成本。然而,在实际操作中,CP需要针对整片Wafer上的每个Die来进行基本器件参数的检测(如阈值电压、导通电阻等),而FT则是在芯片完成封装后对其应用方面进行测试。 WAT(晶圆接受测试)是专门用于对特定测试图形进行电性能监控的一种手段,以评估各步工艺是否正常和稳定。CP作为整个wafer工艺的一部分,在backgrinding和backmetal处理之后,会对一些基本器件参数如阈值电压、导通电阻等进行检测。 FT主要针对已经通过CP的IC或设备芯片的应用特性测试,并且有些甚至需要在待机状态下完成这些测试。仅仅通过FP(最终测试)还不够,还需要执行process qual 和product qual以确保产品质量和工艺稳定性。 对于Memory来说,CP还具有计算出Repair address的功能,进而实现对可修复Die的激光修补操作。这不仅提高了yield(良率),也提升了产品的可靠性。总的来说,CP主要针对fab厂制造过程中的问题进行检测;而FT则关注于封装过程中可能出现的问题,并确保最终产品符合要求。
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