
芯片测试涉及的若干术语及其说明。
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简介:
CP涉及从坏的Die中筛选,从而降低封装和测试过程中的成本,并能更准确地评估Wafer的良率。FT则专注于从坏的Chip中筛选,以检验封装后的良率。在常规Wafer工艺中,许多公司倾向于省略CP步骤,以进一步降低成本。CP主要针对整片Wafer上每个Die进行测试,而FT则侧重于对封装好的Chip进行测试。只有当CP测试通过后,才会进行封装,随后FT确保封装后的Chip也符合标准。WAT(Wafer Acceptance Test)是一种专门针对测试图形(test key)进行的测试,通过电参数来监控各阶段工艺的正常性和稳定性。CP是Wafer级别的芯片探针技术,贯穿整个Wafer工艺流程,包括背面研磨和背面金属化(如果需要),用于对一些基本器件参数的评估,例如vt(阈值电压)、Rdson(导通电阻)、BVdss(源漏击穿电压)、Igss(栅源漏电流)和Idss(漏源漏电流),通常使用的测试设备电压和功率相对较低。FT则是封装后的Chip级别的最终测试,主要集中在IC或Device芯片的应用方面,有时甚至包括待机状态下的测试。即使FP通过了测试,仍需进行process qual和product qualCP 测试。对于内存而言,CP还具有至关重要的作用:通过MRA计算出Chip级别的修复地址(Repair address),并通过Laser Repair将CP测试中标记为可修复的Die进行修补,从而有效提升了Yield和可靠性。简而言之, CP是对Wafer进行的测试, 旨在评估制造厂所采用工艺的水平;而FT是对Package进行的测试, 旨在评估封装厂所采用工艺的水平.
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