本规范详细阐述了SEMI E5-1104中第二条消息的相关标准,旨在促进半导体制造设备间的数据交换和通信的一致性与效率。
### SEMI E5-1104 标准概述
SEMI E5-1104 标准规定了半导体设备通信标准II(SECS-II)的消息内容格式及结构,这是一种广泛应用于半导体制造设备与上位机系统之间的数据交换协议。该标准由全球信息与控制委员会技术批准,并由北美信息与控制委员会直接负责。本标准最初发布于1982年,最后一次更新是在2004年7月。
### 目的
SEMI E5-1104 标准的主要目的是定义一种标准化通信方式,使半导体制造设备能够高效地与其工厂自动化系统进行数据交换。这包括设备状态报告、控制命令和诊断信息等的传输。
### 范围
本标准涵盖了SECS-II通信协议的消息格式、数据结构以及流与功能的具体定义等内容,并适用于所有采用SECS-II标准进行通信的半导体制造设备及其控制系统。
### 局限性
SEMI E5-1104 标准并不涵盖具体的实现细节和技术规范,这些内容可能因制造商的不同而有所差异。此外,对于涉及专利技术的部分(如Stream 4),用户需自行判断是否存在侵犯专利的风险。
### 引用标准
该标准中引用了其他相关的SEMI标准,以确保整个通信协议的一致性和兼容性。
### 消息传输协议
1. **意图**:定义消息传输的基本规则,确保数据能够准确无误地从发送方传递到接收方。
2. **消息结构**:包括消息头和消息体两部分。其中,消息头包含了类型、长度等基本信息;消息体则包含实际的数据内容。
3. **阻塞要求**:为了保证消息传输的正确性,标准中规定了某些特定情况下需要进行的操作。
4. **事务超时**:为避免无限等待,定义了发送后等待响应的时间限制。
5. **多事务打开**:允许同时存在多个未完成的事务,并遵循一定的规则以防止冲突。
### 流与功能
1. **流**:SECS-II中的流是指一系列具有相同性质的消息序列。例如,Stream 0用于基本通信测试,Stream 1用于设备状态报告等。
2. **功能**:每个流下包含多个不同的功能来区分不同类型的操作或查询。例如,在Stream 1中,Function 1表示请求设备状态。
3. **分配规则**:通过不同的流和功能组合满足各种通信需求。
### 事务与会话协议
1. **意图**:定义了处理机制以确保每次交互都能得到正确的响应。
2. **事务定义**:描述了一次完整的通信过程,包括请求和响应两个阶段。
3. **规则要求**:为保证事务的一致性和完整性而规定了一系列必须遵守的规则。
4. **会话协议**:定义设备与上位机之间的长期连接规则,包括建立、维护和关闭的过程。
### 数据结构
1. **意图**:定义了SECS-II消息中数据的组织形式以利于解析和处理。
2. **项(Item)**:是构成数据的基本单元,可以是数值或字符串等类型的数据。
3. **列表(List)**:由一个或多个项组成,用于表达复杂的数据结构。
4. **本地化字符字符串项(Localized Character String Items)**:存储带有语言标签的文本信息。
5. **示例**:提供了具体数据结构的例子以帮助理解如何组织和解释SECS-II消息中的数据。
6. **字典定义**:为每种数据类型定义了一个标识符,便于引用。
### 消息详情
1. **意图**:详细描述了不同流和功能的具体应用场景及相应的消息格式。
2. **Stream 0 和 Function 0**:用于测试连接是否正常,并通常不携带实际数据。
3. **设备状态报告(Stream 1)**:提供关于设备当前运行状态的信息,包括报警状态、故障代码等。
4. **设备控制与诊断(Stream 2)**:用于远程操作和查询内部诊断信息。
5. **材料状态报告(Stream 3)**:报告原材料的状态,如库存水平、批次信息等。
6. **材料控制指令(Stream 4)**:涉及移动分配等操作命令。
7. **异常处理机制(Stream 5)**:定义了设备故障和通信错误等情况下的处理流程。
8. **数据收集(Stream 6)**:用于收集各种生产数据、性能参数等信息。
9. **程序管理(Stream 7)**:涉及工艺程序的上传下载执行操作。
10. **控制程序传输(Stream 8)**:用于传输设备运行所需的代码。
11. **系统错误报告机制(Stream 9)**。
12. **终止会话协议(Stream