
探索15个“为什么”以深入理解MOS器件的关键特性。
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简介:
一、E-MOSFET的阈值电压为何会随着半导体衬底掺杂浓度增加而增大,同时又随着温度升高而下降呢?【答】E-MOSFET的阈值电压本质上是指能够诱导半导体表面形成反向型层(即导电沟道)所需的栅极电压。具体而言,对于n沟道E-MOSFET来说,当施加的栅电压能够使p型半导体表面的能带向下弯曲,使得表面势ψs达到或超过半导体Fermi势ψB的两次值时,则可以判断半导体表面已经形成了强烈的反向型层。此时,反向型层中的少数载流子(电子)的浓度与体内的多数载流子浓度(近似等于掺杂浓度)相等。值得注意的是,阈值电压VT包含了三个主要的电压贡献(在不考虑衬底偏置电压的情况下):首先是栅氧化层产生的电压降Vox;其次是半导体表面附近的电压降2ΨB;最后是用于抵消MOS系统中各种电荷影响的电压。
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