SEMI E30 - 1103 中文版本

简介：
SEMI E30-1103中文版是一款专为国内用户设计的专业软件工具，提供全面且便捷的功能操作界面，支持多种文件格式处理和高效的数据分析能力。 SEMI E30-1103标准是关于半导体制造设备（GEM）通信与控制的通用模型，由全球信息与控制委员会技术上批准，并由日本信息与控制委员会直接负责管理。此标准首次发布于1992年，在2003年进行了更新。当前版本在2003年8月8日获得日本地区标准委员会的认可，同年10月在SEMI官方网站公布，并计划于11月份正式发行。 该标准内容涵盖以下方面： 一、介绍部分：包括修订历史记录、范围定义、意图和概述说明；其主要目的是界定通过通信链路查看的半导体设备行为规范，而不涉及主机的行为定义。此外还提供了GEM范围及组件的具体图表展示。 二、术语与概念定义：为标准中使用的专业词汇提供明确解释。 三、状态模型：介绍方法论并详细描述了通信状态模型、控制状态模型和设备加工状态的相关图表以及转换表。 四、设备能力与场景：涉及建立通信连接，数据收集管理，告警处理机制，远程操作功能，设备常数设置，过程项目管控，物质流转安排，终端服务支持等多方面内容。 五、数据项规定：明确列出数据项的限制条件和变量列表。 六、收藏活动表：列举了GEM定义的各种采集事件类型。 七、SECS-II消息子集：提供了一系列与设备状态监控、控制指令执行及故障报告等功能相关的通信协议模板，涵盖了如异常（警报）通知等信息交换场景。 八、GEM合规性要求：详细阐述了遵守GEM标准的基本条件，包括能力评估框架以及如何进行符合性的验证和声明过程。 附录A则提供了应用实例指导手册，比如工厂操作脚本设计案例、设备前端面板布局参考方案、报警信号示例解析等实用信息。整套SEMI E30-1103准则为半导体制造流程中的装备通讯与控制机制提供了一个详尽的框架和方法论指南，旨在促进设备与主机系统之间的高效互动协作。通过这些规范措施的应用实施，可以有效提高生产效率、保证数据交换准确性以及维持生产链路的一致性和连续性。