
基于AlGaN的宽带隙半导体光电材料及器件
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简介:
本研究聚焦于AlGaN宽带隙半导体材料及其在光电器件中的应用,探讨其生长机制、特性优化以及新型器件设计,推动高性能光电技术的发展。
AlGaN基材料是一种带隙可调的直接宽禁带半导体材料,非常适合用于制备紫外(UV)光电子器件。经过几十年的研究,在异质衬底外延生长AlGaN基材料以及高效掺杂等方面已经取得了显著进展。基于这些成果,AlGaN基紫外光电器件的制造技术也得到了快速发展。本段落主要介绍了高质量AlGaN基材料通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)法进行外延生长的方法、掺杂方法,并概述了近年来在紫外发光和紫外探测器件方面的研究成果。
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