基于条纹反射技术的非球面镜三维面形检测

简介：
本研究提出了一种利用条纹反射技术对非球面镜进行三维面形检测的方法，旨在提高光学元件制造与测量精度。 本段落提出了一种基于条纹反射原理测量非球面镜的新方法。在该方法中，利用液晶屏显示正弦条纹，并通过摄像机记录由待测镜面反射产生的图像。同时，显示屏与摄像机会沿着待测镜的轴向移动，在每个位置上分别拍摄两幅不同的条纹图。采用相移技术获取这些条纹图的相位信息后，可以确定每一个像素点在非球面镜上的对应位置，并且能够获得该点的位置坐标和梯度信息。最后通过积分计算，恢复出待测镜面的高度分布情况。 此方法无需额外使用反射镜或干涉仪设备，因此具有更高的灵活性与实用性，在存在较大噪声干扰的情况下依然可以实现对非球面镜的有效测量。模拟实验及初步的实际测试均表明了该技术方案的可行性。