Silvaco TCAD 仿真的快速入门指南

简介：
本指南为初学者提供Silvaco TCAD仿真软件的基础知识和操作技巧，帮助读者迅速掌握半导体器件建模与工艺模拟技术。 《Silvaco TCAD 仿真速成手册》专为初次使用Silvaco TCAD软件的用户设计，旨在帮助新用户迅速掌握软件的安装、运行及使用方法。该手册强调快速上手的重要性，并指导用户如何有效查阅文档以理解和解析仿真参数。 第一章介绍了目标读者群体——首次接触Silvaco TCAD的新手，并明确了手册的主要目的：协助新手在短时间内成功完成软件的安装和操作，同时提供有效的文档阅读指南来理解所有相关参数及其定义。此外，手册还建议通过访问SILVACO官方网站的技术支持部分获取更多深入的学习资料。 第二章详细讲解了如何快速上手Silvaco TCAD。DeckBuild作为核心运行环境，其特色在于自动创建输入文件、编辑现有文件、生成DOE（实验设计）以及参数提取等功能。它包含大量涵盖不同物理现象的示例，是新用户熟悉软件的重要资源。 手册指导用户通过在“tutorial”目录中使用DeckBuild进行操作，并利用该工具的控制窗口来加载和运行示例输入文件。例如，在MOS1: MOS应用实例部分，用户可以选择并双击加载范例以查看仿真结果，如NMOS器件IdVgs曲线及阈值电压提取。 此外，《Silvaco TCAD 仿真速成手册》还介绍了SILVACO的图形浏览工具TonyPlot。该工具能够展示结构文件中的网络掺杂轮廓图和器件仿真的线图等数据，并支持用户定义不同参数以深入理解仿真结果。 通过遵循手册中提供的示例和指南，新用户将能有效地使用Silvaco TCAD进行复杂的器件模拟及工艺设计，在微电子领域实现创新与优化。