利用COMSOL Multiphysics进行MEMS建模及其应用。

简介：
本书详细阐述了运用COMSOL Multiphysies有限元软件构建MEMS模型的关键方法和操作流程，并结合了多个具有代表性的MEMS建模案例，以图文并茂的方式呈现。本书共分为五个章节，其中第一章系统地概述了MEMS技术的核心概念以及在COMSOL Multiphysies软件中进行MEMS模型构建的基本步骤；第二章则以六个典型的模型作为基础，深入剖析了MEMS建模的通用策略；而第三、第四、第五章则分别着重介绍了微传感器、微通道以及微压电器件的MEMS建模技术及其具体操作流程。值得强调的是，本书中所引用的模型实例均由该领域的资深专家和学者精心开发，因此具有极高的可信度和可靠性。本书的目标读者包括MEMS研究人员和爱好者，同时也适用于高等院校的相关专业师生进行学习和参考。