
静电刚度谐振微加速度计及接口电路分析*(2011年)
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简介:
本文于2011年撰写,专注于静电刚度谐振微加速度计及其接口电路的深入分析,探讨其设计原理和性能优化。
根据静电加载在平板电容器上产生的等效静电负刚度原理,分析了基于静电刚度的谐振式微加速度计的工作机制。针对有效信号检测中出现的同频干扰问题,建立了接口电路的等效模型,并提出采用方波调制和开关解调的方法来抑制这种干扰。仿真和实验结果显示,制造出的加速度计在静止状态下的电容约为0.4pF,在测试条件下变化范围为3.1fF,而耦合干扰电容则大约是0.04pF。通过频率调制解调方法成功地获取了加速度计中的振动信号,并且在真空封装的情况下品质因数达到约1400,谐振频率为35.476 kHz。
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