
研究多脉冲飞秒激光烧蚀过程中反射率变化对激光烧蚀阈值的影响
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简介:
本研究探讨了在多脉冲飞秒激光加工中,材料表面反射率的变化如何影响激光烧蚀阈值,深入分析其内在机理。
为了提高飞秒激光微加工的精度,本研究探讨了多脉冲飞秒激光烧蚀积累效应形成的机理。以铜靶为例,采用时域有限差分法(FDTD)求解双温方程,并分析了电子、离子亚系统温度及激光烧蚀阈值随反射率变化的规律。结果显示,在多脉冲激光烧蚀过程中,前一个脉冲会破坏靶材表面结构,导致后续脉冲的反射率下降和烧蚀阈值显著降低。这解释了在多脉冲飞秒激光加工中观察到的烧蚀阈值不断变化的现象。同时表明,在进行多脉冲飞秒激光微加工时,必须考虑反射率的变化对激光烧蚀的影响以实现高精度加工。
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