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光刻机照明均匀化用微柱面镜阵列的设计

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简介:
本文提出了一种用于改善光刻机照明均匀性的微柱面镜阵列设计方法,通过优化镜片排列和曲率,显著提升了曝光过程中的光能分布均匀度。 均匀照明是实现光刻线条高度均一性的关键因素之一,在投影光刻机中尤为重要。利用微透镜阵列作为匀光器件,可以同时获得矩形的照明区域以及远场分布的高度一致性。基于现有的微透镜加工技术,设计了一种二维方向分开的柱面微透镜阵列,并通过优化设计解决了由于相邻微透镜接缝导致的中心亮线问题。仿真结果显示,所设计的微透镜阵列在远场中的不均匀性可以控制在0.85%以内。

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    本文提出了一种用于改善光刻机照明均匀性的微柱面镜阵列设计方法,通过优化镜片排列和曲率,显著提升了曝光过程中的光能分布均匀度。 均匀照明是实现光刻线条高度均一性的关键因素之一,在投影光刻机中尤为重要。利用微透镜阵列作为匀光器件,可以同时获得矩形的照明区域以及远场分布的高度一致性。基于现有的微透镜加工技术,设计了一种二维方向分开的柱面微透镜阵列,并通过优化设计解决了由于相邻微透镜接缝导致的中心亮线问题。仿真结果显示,所设计的微透镜阵列在远场中的不均匀性可以控制在0.85%以内。
  • 矩形斑LED
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    本文介绍了矩形光斑LED均匀照明透镜的设计方法与实现过程,探讨了优化光线分布和提高照明效率的技术细节。 为了提高LED矩形光斑透镜的能源利用率、光斑均匀性和表面平滑性,设计了一种能够实现均匀照明且光斑为矩形的新透镜。该设计基于双极坐标系对光线进行优化处理。
  • MATLAB自由曲编程
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    本项目利用MATLAB软件进行自由曲面透镜的设计与模拟,重点在于通过算法实现均匀照明效果,探索优化自由曲面结构的新方法。 利用MATLAB编程实现透镜光线与照明面的一一对应关系,涉及非成像光学的相关内容。
  • LED自由曲在道路.pdf
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    本文探讨了LED自由曲面透镜的设计方法及其在道路照明中实现光强分布均匀性的应用价值。通过优化透镜结构以提升路面照明效果和能效,为城市夜间交通安全提供支持。 ### 道路均匀照明的LED自由曲面透镜设计 #### 摘要与背景 随着LED技术的发展,因其具有长寿命、节能环保等特点,在道路照明领域的应用日益广泛,并逐渐替代传统的高压钠灯。然而,由于LED光源本身的发光特性较为特殊,如果不加以适当的光学设计,则直接照射在地面上的光线可能不均匀,从而影响道路照明的质量。因此,如何设计一种能够实现道路均匀照明的LED透镜成为了一个重要的研究课题。 #### 关键技术与方法 本段落提出了一种基于非成像光学原理的LED自由曲面透镜设计方案,旨在解决道路照明中光线分布不均的问题。具体的技术路径包括以下几个关键步骤: 1. **微分几何原理的应用**:利用微分几何原理建立自由曲面透镜形状的一阶拟线性双曲型偏微分方程。这一方程是描述透镜表面形状的关键数学工具。 2. **数值求解**:在MATLAB软件中对上述偏微分方程进行数值求解,得到透镜表面的具体数据。这是设计透镜的重要步骤之一,通过精确计算确保透镜能够实现所需的光学效果。 3. **三维建模与验证**:将数值求解得到的数据导入到SolidWorks中,构建出具体的透镜模型。这一步骤能够直观地展示透镜的设计成果,并为进一步的光学性能分析提供基础。 4. **光线追踪模拟**:使用TracePro软件对所设计的透镜进行光线追踪模拟,评估其实际照明效果。光线追踪是一种有效的物理模拟方法,可以帮助研究人员了解光线经过透镜后的分布情况。 5. **扩展光源配光验证**:进一步测试透镜在面对扩展光源时的照明效果,验证其是否能够在不同的光源条件下保持良好的照明均匀度。 6. **照明效果模拟**:利用DIALux软件模拟由这种透镜组成的路灯系统的整体照明效果,确保其能够满足国家道路照明标准的要求。 #### 主要研究成果 根据上述方法设计出的LED自由曲面透镜能够将LED光源的朗伯分布转化为适合道路照明所需的蝙蝠翼分布。在10米距离的目标面上,整体照明均匀度达到85%以上,能量利用率为89.2%。即使在处理扩展光源的情况下,光学系统依然能够保持良好的照明效果,有效照明区域内照度均匀度高于80%。通过DIALux模拟的5×10式模组路灯系统的照明效果显示,路面照度均匀度达到了0.83,完全符合国家标准。 #### 结论 本研究提出的方法有效地解决了道路照明中光线分布不均的问题,对于提高LED道路照明系统的整体性能具有重要意义。通过精确的数学建模与先进的光学仿真技术相结合,实现了道路照明的高效与均匀,展现了LED光源在道路照明领域中的巨大潜力。未来的研究可以进一步探索更多复杂的光源配置以及更广泛的照明应用场景,以满足不同环境下的照明需求。
  • 非球技术:复眼透结合,实现矩形和圆形线分布
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    本文介绍了将复眼透镜与微透镜阵列相结合的非球面匀光技术,能够有效实现矩形及圆形光源光线的均匀化处理。 非球面匀光技术通过特定的光学设计与制造方法使光源发出的光线在经过透镜或阵列后均匀分布,对于照明设备、成像系统及其他光学应用领域具有重要意义。它能够改善光照质量,减少能量损失,并提高整体性能。 复眼透镜模仿昆虫眼睛结构,由众多小透镜组成,每个可独立成像并优化光传播路径以实现更均匀的光线分布。微透镜阵列则包含数百上千个排列规则的小透镜,通过精细调控达到匀光效果。 “匀光合集”技术结合了非球面、复眼和微透镜阵列三种匀光方法,适用于处理矩形与圆形光源,无论在照明还是成像领域均能提供均匀光照。其中,矩形光线因其适应特定需求的能力,在LCD屏幕背光及医疗照明等领域更受欢迎;而传统圆型光束则更为常见。 实际应用中,这几种技术的结合为多种光学设备提供了高效、均匀的解决方案,并适用于对光源亮度和分布有极高要求的情景如医疗仪器、精密测量装置以及汽车灯等。同时,非球面匀光还能缩小系统体积简化结构并降低成本,在节能环保方面也具有显著优势。 深入研究与开发该技术需要跨学科的努力,包括光学原理、数学建模及计算机科学的应用来优化设计参数和预测光线路径以达到最佳效果。随着这些创新解决方案的发展应用,将推动整个光学领域向前迈进,并为人们带来更高效且均匀的照明体验。
  • LED系统方法
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    本研究探讨了LED系统的均匀照明设计方法,旨在通过优化布局和控制系统来提高光效,减少能耗,为各类应用场景提供更佳的照明解决方案。 针对医用无影灯的应用需求,提出了一种使用非球面透镜实现目标平面均匀照明的方法。依据能量守恒定律确定了光源出射角与目标表面之间的关系,并运用Zemax的宏语言编写优化操作数使透镜设计符合上述条件,在非序列模式下对结果进行模拟和优化。同时,研究了透镜前表面三种不同情况下的表现,并提出并分析了一个LED球面阵列的设计方案及其角度及距离偏移对光照均匀度的影响。实验结果显示,在1米的距离上实现了直径为25厘米的平面内的均匀照明,照度均匀性(平均照度/最大照度)超过96%;此外,球面阵列设计满足了无影灯所需的光分布需求,并且能够实现深度达到一米的光照效果。
  • 基于线MUSIC算法在DOA估_DOA_天线__music__
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    本文探讨了基于均匀线阵和圆形阵列的MUSIC算法在方向-of-arrival(DOA)估计中的应用,分析了其在不同天线配置下的性能表现。通过理论推导与仿真验证相结合的方法,展示了该算法在提高定位精度及抗噪能力方面的优越性。 在基于天线阵列协方差矩阵的特征分解类DOA估计算法中,多重信号分类(MUSIC)算法具有广泛的适用性。无论天线阵是直线阵还是圆阵,并且不论阵元是否等间隔分布,只要已知天线阵的具体分布形式,都可以通过该算法获得高分辨率的估计结果。
  • 改善深紫外系统中扩束单元性方法
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    本文提出了一种优化方法,旨在提升深紫外光刻技术中扩束单元的光束均匀度,从而提高微纳制造工艺的质量和效率。 针对90纳米节点投影光刻机照明系统中的准分子激光光源扩束后出射光束均匀性较差的问题,我们采用高斯光束边缘叠加原理对反射式扩束单元进行了分析。研究发现,在平行反射式扩束单元中,出射光束之间的叠加尺寸与反射板特定区域的透射率存在矛盾,这限制了照明光束均匀性的提升。 为了克服这一问题,我们提出了一种非平行反射扩束镜组,并推导出了出射光束尺寸、子光束数量以及两面镜子楔角之间的关系式。确定了合适的楔角度值范围和扩束单元的结构形式后,通过建模分析验证了该设计不仅能够实现一维光束扩展,还有效减少了叠加光束间的干涉散斑效应,并显著提高了整体出射光束均匀性。