基于激光差动多普勒效应的微机电系统的动态检测技术

简介：
本研究介绍了一种创新性的动态检测技术，利用激光差动多普勒效应精确测量微机电系统（MEMS）元件在运行中的振动特性与响应。该方法提供高精度、非接触式检测手段，为优化MEMS设计及性能评估提供了重要工具。 本段落提出了一种用于测量微机电系统(MEMS)器件瞬时速度和位移的新型测量系统。该系统采用激光差动多普勒技术来检测谐振器在平面内的振动，并能够测量垂直于系统光轴方向上的振动速度。此外，还在差动多普勒测量光学路径的基础上增加了一条CCD监测路径，以便实时观察被测器件调整过程及振动情况。 通过处理电路从光学系统的高频信号中提取出所需的多普勒信号，并利用Labview和Matlab软件对采集到的多普勒信号进行时频分析。这一步骤能够获得MEMS器件的各项运动参数。该系统还具备微定位功能，可以实现对整个平面内测点的扫描，从而获取器件振动速度场信息。 本研究为后续开展有关MEMS器件高阶谱振动及扭转特性等方面的深入分析提供了重要的数据支持和理论依据。