
高能束激光在大面阵微镜阵列器件三维微纳制造中的应用技术
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简介:
本研究探讨了高能束激光技术在大规模微镜阵列三维微纳结构精密制造的应用,推动新型光学器件的发展。
大面阵微镜阵列器件高能束激光三维微纳制造技术由赵恒与王骏研究。微透镜阵列是由尺寸在微米到纳米量级的光学透镜按照一定方式排列组成的,是一种重要的微光学元件。飞秒激光脉冲具有超短脉的特点。
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简介:
本研究探讨了高能束激光技术在大规模微镜阵列三维微纳结构精密制造的应用,推动新型光学器件的发展。
大面阵微镜阵列器件高能束激光三维微纳制造技术由赵恒与王骏研究。微透镜阵列是由尺寸在微米到纳米量级的光学透镜按照一定方式排列组成的,是一种重要的微光学元件。飞秒激光脉冲具有超短脉的特点。


