基于白光干涉彩色图象的微结构表面形态测量

简介：
本研究提出了一种利用白光干涉技术获取和分析彩色图像的方法，用于精确测量具有复杂微结构的表面形态。该方法能够提供高分辨率的三维表面信息，在材料科学、精密工程等领域有着广泛的应用前景。 微结构的表面形貌对微纳器件的使用性能及产品质量有着显著影响，在微纳测试领域是一个重要的研究方向。白光干涉技术是一种常用的测量物体表面形貌的方法。与传统的CCD黑白相机不同，采用CCD彩色相机可以获取包含R、G、B三个通道信息的白光干涉条纹图像。 通过小波变换法分别求解出在各个扫描位置处R、G、B三个通道中的相位信息，并利用建立的评价函数结合最小二乘法来精确确定零光程差的位置。基于相对高度和零光程差位置之间的线性关系，可以进一步得到物体表面的形貌特征。 通过仿真及实际测量VLSI标准公司制造的标准台阶结构的结果验证了该方法的有效性和准确性。