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碲锌镉特殊光电晶体的光滑无损伤化学机械抛光技术

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简介:
本研究专注于开发针对碲锌镉材料的高效、低损伤化学机械抛光技术,旨在实现光学晶体表面的超光滑处理,提升其在高性能红外探测器中的应用效果。 本段落采用Al2O3作为研磨剂和SiO2纳米球酸性化学机械抛光液的新工艺对特殊光电功能晶体碲锌镉进行了化学机械抛光研究,并与传统的研磨-机械抛光方法进行了对比。

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    本研究专注于开发针对碲锌镉材料的高效、低损伤化学机械抛光技术,旨在实现光学晶体表面的超光滑处理,提升其在高性能红外探测器中的应用效果。 本段落采用Al2O3作为研磨剂和SiO2纳米球酸性化学机械抛光液的新工艺对特殊光电功能晶体碲锌镉进行了化学机械抛光研究,并与传统的研磨-机械抛光方法进行了对比。
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