
SEMI E30修订版.pdf
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简介:
《SEMI E30修订版》是一份经过更新和改进的标准文档,提供了半导体制造设备电气接口设计的最新指导原则和技术要求。
SEMI E30-1103 是用于制造设备通信与控制的通用模型(GEM),SEMI E30.1-0200 是检测和审查专用设备模型(ISEM),而 SEMI E30.5-0302 则是计量专用设备模型的规范。
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简介:
《SEMI E30修订版》是一份经过更新和改进的标准文档,提供了半导体制造设备电气接口设计的最新指导原则和技术要求。
SEMI E30-1103 是用于制造设备通信与控制的通用模型(GEM),SEMI E30.1-0200 是检测和审查专用设备模型(ISEM),而 SEMI E30.5-0302 则是计量专用设备模型的规范。


