
多级台阶相位型菲涅耳波带片的矢量衍射
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简介:
本文研究了多级台阶相位型菲涅耳波带片的矢量衍射特性,分析其在不同参数下的衍射图样,并探讨其在光学系统中的应用潜力。
采用矢量Rayleigh-Sommerfeld (VRS) 衍射理论分析了高数值孔径多台阶相幅型菲涅耳波带片(M-SHFZP)的聚焦场分布情况。当线性偏振光垂直入射至M-SHFZP时,研究发现:1)由于薄膜透射率随刻蚀深度的变化而改变,导致实际中的M-SHFZP 聚焦强度低于多台阶纯相位型菲涅耳波带片(M-SPFZP)的聚焦强度;然而,其光斑大小与M-SPFZP基本一致。2)随着台阶数增加,聚焦光的强度增大,但焦点尺寸不随台阶数量的变化而变化。3)对于低数值孔径的M-SHFZP,在轴线上的强度呈现出多个峰值分布模式;而对于高数值孔径的情况,则高级次焦点的强度被显著抑制。当台阶数目增多和数值孔径变大时,这种对高级次焦点的抑制效果更加明显。VRS 矢量衍射理论计算结果与时间域有限差分法(FDTD) 模拟结果基本吻合。
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