
SEMI E4 规范
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简介:
《SEMI E4规范》是半导体行业内广泛采用的标准文件之一,主要规定了晶圆盒在半导体制造和测试过程中的尺寸、材料及性能要求,确保行业内的兼容性和互操作性。
SEMI E4标准定义了半导体设备HOST端口与上层系统(如EAP)之间的串行通信协议SECS-I。该标准并未规定数据格式,而由E5标准来定义数据格式。
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简介:
《SEMI E4规范》是半导体行业内广泛采用的标准文件之一,主要规定了晶圆盒在半导体制造和测试过程中的尺寸、材料及性能要求,确保行业内的兼容性和互操作性。
SEMI E4标准定义了半导体设备HOST端口与上层系统(如EAP)之间的串行通信协议SECS-I。该标准并未规定数据格式,而由E5标准来定义数据格式。


