
taurus_tsuprem4_vH_2013_03.rar
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简介:
这是一款名为Taurus TSUPREM4 VH 2013_03的软件资源包,发布于2013年3月,主要用于模拟半导体器件的材料性质和制造工艺。
TSUPREM-4 是一个用于模拟制造硅集成电路和分立器件过程中所用工艺步骤的计算机程序。该程序可以模拟杂质在垂直于硅晶圆表面二维(2-D)器件横截面上的掺入与重新分布情况。该程序提供的输出信息包括:
- 各种材料层结构的边界
- 每一层内杂质的分布情况
- 由氧化、热循环或薄膜沉积产生的应力
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