L波段LiNbO3 SAW谐振器的制作方法

简介：
本文介绍了L波段LiNbO3声表面波(SAW)谐振器的制造工艺和技术细节，适用于高频通信设备。 高频表面声波（SAW）技术在无源无线传感与通信的航空航天应用领域展现出巨大潜力。本段落详细介绍了基于128°YX LiNbO3衬底设计、仿真、制造及测试L波段声表面波谐振器的过程。通过有限元法和模式耦合理论优化了声表面波谐振器的设计参数，采用电子束光刻技术来制作亚微米级的叉指式换能器（IDT）与光栅反射器，并探讨了如电子束抗蚀剂使用、金属沉积方法选择及电荷积累效应等关键因素对SAW器件制造精度的影响。实验中，在1.55 GHz频率下，利用改进后的EBL技术制造的基于LiNbO3材料的声表面波谐振器表现出瑞利波共振峰，回波损耗约为-12 dB且品质因数Q为517。此外，还通过该SAW谐振器进行了温度和应变测试实验。结果表明：对频率移动的影响具有良好的线性依赖关系；温度灵敏度为每摄氏度125.4 kHz，而应变灵敏度则达到每微米-831 Hz。