《日立电子扫描电镜使用指南》是一份详尽的操作手册,旨在指导科研人员和学生如何高效、安全地操作日立公司的电子扫描显微镜设备。
该产品的操作手册分为五个部分:系统部分、操作部分、窗口部分、错误消息部分以及测量/图像文件配置部分。本卷为CD测量与评估SEM系统的“操作部分”。
- **系统部分**涵盖安装要求,仪器组件的布置和功能特性,工作原理,文件组织方式,坐标方案,启动和停止设备的操作方法,故障排除及维护保养等安全预防措施。
- **操作部分**介绍仪器的操作流程、文件创建步骤以及可选功能控制程序。
- **窗口部分**详细说明在显示器上显示的各种窗口的运行功能与操作过程。
- **错误消息部分**描述了在使用过程中可能出现在工作站上的各种错误信息及其原因,并提供相应的解决措施。
- **测量/图像文件配置**解释如何设置和管理测量及图像文件。
建议用户首先阅读“系统部分”,熟悉仪器的基本知识后,再继续学习“操作部分”与“窗口部分”的内容。维护保养程序详见于“系统部分”。根据该章节中的周期检查清单定期执行设备的维护工作。
手册中包含多个不同型号、软件版本以及可选功能的相关描述,请确认您所使用的具体型号和配置,并查阅相应的说明。
本手册适用于S-9000系列CD SEMs,包括但不限于以下几种型号:S-9200, S-9220, S-9260, S-9260A, S-9300, S-9360 和 S-9380。