Peter de Groot于1997年的Zygo 101步移相干涉测量算法

简介：
Peter de Groot在1997年提出了Zygo 101步移相干涉测量算法，该算法大幅提升了表面形貌的精确测量能力，在光学计量领域具有重要影响。 相移干涉测量法（PSI）是进行干涉条纹插值的一种常见技术。这种技术通过存储一系列参考相位的CCD图像帧来获取表面轮廓的信息，并利用数学算法恢复出所需的相位信息。由于波前相位与表面轮廓呈线性关系，因此PSI能够提供高分辨率的表面图测量结果。 早期受限于计算能力，PSI通常只能使用3或4个图像帧进行分析，这限制了其精度和灵活性。随着技术进步以及对更高精度的需求增加，移相算法逐渐扩展到了5、7甚至15帧等更长序列的应用中。 本段落探讨了这一趋势的局限性，并回顾了一些我们公司用于评估PSI性能的数学方法。最后，为了展望未来的发展方向，我提出了一种使用101个图像帧的新算法方案，这种新方案对各种误差源具有更强的抵抗能力。通过这个极端的例子可以清楚地看到，在放宽了对于PSI定义的前提下，实际能够采用的算法长度限制可能比我们想象中的要宽松得多。