
PIN光电探测器
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简介:
PIN光电探测器是一种高性能半导体光电器件,具备高灵敏度和快速响应特性,在光纤通信、光电传感及太阳能电池等领域有着广泛应用。
尽管这种材料体系的PIN结构通常仅使用AlGaSb组成,但掺入少量砷可以减少晶格失配问题。该材料采用液相外延(LPE)方法,在350至500摄氏度下生长于GaSb衬底上;较低温度用于生成重掺杂P型结构,较高温度则用于形成N型结构,并通过碲和锗的掺入实现N型与P型的掺杂。
基于该材料体系制造出的二极管如图1(a)所示,其异质结由GaSb和AlGaSb组成,在量子效率达到54%的同时响应波长范围为1至1.7微米。通过在异质结构之间添加一层本征AlGaSb层来构建PIN结构,如图1(b)所示,并使响应波长降低到1.3微米;而图1(c)展示的结构中,该二极管的本征层由两种不同组分比例的AlGaAsSb材料构成。这种设计不仅提升了击穿电压水平,还有效降低了相关参数值。
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