
周期性图案化多层(PPML)- 基于RCWA的电磁特性分析-MATLAB开发
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简介:
本项目利用MATLAB结合矩形波导耦合算法(RCWA)对周期性图案化多层(PPML)结构进行电磁特性分析,提供详尽的设计与仿真工具。
基于散射矩阵(SM)算法的严格耦合波分析(RCWA)是用于模拟图案化多层结构电磁特性的强大工具之一。PPML-RCWA项目采用了一种特定形式来实现SM-RCWA方法,提供了三组功能:一组适用于TM偏振下的一维图案,另一组针对一维各向异性(双轴)图案,第三组则用于某些二维图案的模拟。
对于一维 TM 模式,该工具可以计算以下内容:
1. 强度反射率、透射率及逐层吸收率;
2. 完整的 2x2 散射矩阵;
3. 结构内的电场和磁场分布。
这些功能遵循特定分解规则 [c,d] 设计,在保证高性能的同时,还能有效模拟包含金属部分(等离子体光栅)在内的复杂结构。此外,该工具还能够处理平面外单轴材料。
对于一维双轴介质,则可以使用以下功能:
1. 透射衍射波的幅度、相位及偏振特性分析。
至于二维模式,目前可用的功能包括计算零阶衍射级散射矩阵(即4x4矩阵,其子矩阵为透射和反射琼斯矩阵)。该工具支持多种晶胞几何形状。
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