针对微环谐振腔的调谐滤波器进行研究。

简介：
采用深紫外光刻技术以及等离子体刻蚀工艺，成功制备了基于绝缘体材料上硅材料的环形滤波器，其微环半径仅为5微米。此外，还实现了基于单个微环的四通道光分插复用器的制备，该器件的尺寸仅为3000微米乘以500微米。实验结果显示，该器件能够有效地实现上行下载功能。其自由频谱宽度约为19.6纳米，最大消光比达到了19.76分贝。与此同时，对设计进行了优化，从而制备出基于跑道型双微环的可调谐光分插复用器。对这两种结构的光分插复用器的相邻信道间串扰进行了测试，并发现基于单微环滤波器的信道间最大串扰为-11.94分贝，而基于跑道型双微环滤波器的信道间最大串扰则为-20.04分贝。值得注意的是，所设计的基于双微环的光分插复用器上行通道与主信道之间没有采用交叉波导结构，因此相邻通道间的串扰明显低于单环型的光分插复用器。同时，还设计并成功制备了一种基于双微环PIN结型电光调制器。实验表明，当偏置电压提升至1.6伏特时，谐振峰发生了0.78纳米的蓝移现象，并对这些测试结果进行了详细的分析与研究。