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MEMS陀螺仪原理.pdf

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简介：
mems 陀螺仪 即硅微机电陀螺仪，绝大多数的 MEMS 陀螺仪依赖于相互正交的振 动和转动引起的交变科里奥利力。 MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集 机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一 体的完整微型机电系统

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