SEMI E5 更新版.pdf
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简介：
《SEMI E5 更新版》提供了关于半导体制造设备相关技术规范和标准的最新修订内容，旨在促进行业的标准化与兼容性。
SEMI E5是半导体制造设备通信标准的一部分，全称为SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content（通常缩写为SECS-II）。它规定了半导体制造设备间数据交换的标准化协议，包括设备与主计算机系统之间的通讯协议和数据定义。
以下是关于该标准的关键知识点：
1. **目的**：SECS-II旨在定义用于自动化和数据采集过程中，设备与主机之间通信的语言及格式。
2. **范围**：本标准适用于半导体生产线上的所有类型的信息交换，包括但不限于设备状态、控制命令以及工艺数据等信息。
3. **局限性**：在某些实施方式中（特别是Stream4的实现），可能涉及美国专利4,884,674和5,216,613所涵盖的技术。此外还可能存在其他由德州仪器公司持有或待定的专利。发布该标准时，SEMII并不对这些或其他任何潜在的权利适用性做出声明。
4. **引用标准与文档**：SECS-II参考了众多行业通用的标准和文件作为基础。
5. **术语定义**：为确保制造商、软件开发者及终端用户能够准确理解此规范的内容，制定了专门的术语集。
6. **消息传输协议**：
- 包括数据的安全可靠传输机制。
- 规定了消息格式（如包结构与大小）、阻塞要求以及事务超时时间等细节。
- 介绍了如何通过消息头来识别信息类型、来源及目标地址。
- 允许在同一通信会话中同时处理多个事务。
7. **流和功能**：
- 流定义了数据传输的优先级与用途，而功能则规定了在特定流上执行的具体通讯行为。
- 描述如何分配并使用不同的流和功能以满足各种沟通需求。
8. **事务及对话协议**：
- 设立了一套规范化的流程来确保有序的数据交换。
- 详细说明了交易的基本单元、组成要素以及维持完整性的必要条件。
- 讨论了不同交易之间的互动模式，即所谓的对话协议。
9. **数据结构**：
- 定义了如何组织并传输信息的方法。
- 描述了一系列基本的数据单位（条目）、列表及特定字符编码格式等概念。
- 提供了一些典型的数据结构示例，并定义了一个标准化的元素集合以确保一致性的数据交换。
10. **消息细节**：
- 对SECS-II中各种消息的具体使用情况进行了深入解析。
- 包括了不同流和功能各自的详细说明及其用途，例如Stream0至Stream8等。
文档最后可能还会介绍半导体设备制造商如何在实际生产环境中应用这些通信标准，以及其对于实现智能制造与设备联网的重要性。SEMI E5为半导体制造过程中的高效数据交换提供了全面的技术指导，是智能工厂建设的重要组成部分。
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