
硅微加速度计的ANSYS设计与仿真
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简介:
本项目聚焦于利用ANSYS软件进行硅微加速度计的设计与仿真分析。通过精确建模及多物理场耦合技术,深入探索其力学性能和优化方案,助力实现高性能传感器的研发目标。
硅微加速度计结构示意图显示其总体尺寸不超过1400微米。质量块的尺寸为200μm×200μm,厚度为80μm;梁的尺寸为300μm×40μm,厚度为30μm。
材料选择可以参考课件例题或前实验题目中的类似案例。具体参数如下:弹性模量1.69e11,泊松比0.3,密度2.3e3。网络化类型可根据需求自选。
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